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東芝エネルギーシステムズ株式会社

特集・トピックス:単結晶シリコンウエハー引上げ装置用超電導マグネット

トップページ原子力特集・トピックス > 単結晶シリコンウエハー引上げ装置用超電導マグネット
超電導マグネット

東芝は1988年から単結晶シリコンウエハー引上げ(MCZ)装置用超電導マグネットを製造しており、国内外の累計で500台以上の納入実績があります。
現時点のラインナップとしては以下のタイプを取り揃えております。

超電導マグネット

From 1988, Toshiba has manufactured over 500 superconducting magnets
for Silicon Single-Crystal Pullers.(MCZ:Magnetic field applied Czochralski)
At present, Toshiba has the following types of products.
We can provide magnetic field distribution according to your request.

ラインナップ/Lineup

サイズ・・・8インチ/12インチ 
磁場 ・・・水平タイプ/カスプタイプ

Size・・・8inch/12inch 
magnetic field・・・horizontal/CUSP

カタログ(ダウンロード)

特許

特許第4594794号
特許第5889509号
特許第5421170号

表彰実績

参考記事

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